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进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)
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进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)

采用独特的设计,中心齿轮直径减小,加工面积增大,速比可调游轮可正反转,节省能耗的同时生产效率大大提高此设备日本原装生产精度好稳定性强,2个电机,不绣钢盘。

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  • 地   址:
    广东 东莞 茶山镇 黄岭路62号
产品特性:精度高类型:齿轮加工机床型号:16B
新旧程度:8成新传动方式:液压传动主电机功率:3kw
最大磨削尺寸:400mm自动化程度:自动品牌:HAMAI滨井
重量:700kg外形尺寸:3900*2900*3600mm加工精度:高精度
工作台尺寸:1140mm设备所在地:东莞设备生产产地:日本
电机:2个游星轮:6个修正轮:3个
加工尺寸:400适合产品:所有平面抛光研磨产品

进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)详细介绍

进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)介绍

本机适用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。

主要特点:

  1.进口变频器配合变频电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
  2.
采用二电机同步拖动,可选择游星轮的变速范围更广,能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
  3.
单独电机抬升内齿圈,并在总行范围内随意停留,满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度,调整方法简便。
  4.
采用国内***的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理,大大提高了其耐蚀性,继而也提高并能长期***底座安装精度。
  5.
电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的***元件,主气缸为精密低摩擦力气缸,压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。
  6.
压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制,其静态调整精度<2Kg,动态压力波动<30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性,进而确保提高元件加工精度及合格率。
  7.
人机界面(HMI)显示与PLC主控制器结合,一方面显示运行参数,另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数,主操作由普通键钮完成。
  8.
采用自动润滑装置,用户可根据自己的使用情况,设定自动润滑时间,使机器的各相对运动表面,齿轮啮合部位得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。
  9.
研磨机配置了高精度的测厚装置,工件加工的动态情况通过HMI随时可见。
  10.
可根据用户的加工工艺要求,选装抛光液温度调节装置(单制或双制均可)。

 

进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)主要技术参数

研磨盘尺寸:920*280*40mm

磨盘转速: 0~60rpm
游行轮参数:公制M=3
Z=153P=12°
游行轮数量:5

***小研磨厚度:5/Φ190mm,0.4/Φ150mm
可控研磨厚度:20mm
(可根据要求特殊定制)
研磨直径:Φ290mm
主电机:7.5KW4
级三相AC380V
太阳轮电机:1.5KW4
级三相AC380V
内齿圈电机:1.5KW4
级三相AC380V
气源:0.5~0.7Mpa
外型尺寸:2100×1650×2500mm
机器重量:~3000kg
砂泵电机(带搅拌):4KWAC380V
主机精度
下研磨盘端面跳动:0.08mm
淹没面平面度:0.02mm
太阳轮径向跳动:0.20mm
内齿圈径向跳动:0.25mm
加工精度(四个修正轮修研后)
一致性:0.008mm
平面度:0.005m
平行度:0.006mm
加工能力
单片承片量:Φ1704
片,Φ2002
整盘承片量:Φ7020
片,Φ2001

 


二手机械库存明细

 

双面抛光机系列:

日本:hamai16B   speedfam16B  21B 28B  30B  40B 双面抛光研磨机

德国:Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机

国产:金研/宇晶9.6B  9S 9B  13B 15B 16B 20B

 

镀膜机械系列:

日本:光弛OTFC-1300/1550/2350

德国:莱宝:1300

台湾:龙翩LP-1400/1650/1800

韩国:韩一 1200  联合2050

南光:1100/1300

 

检测仪器:

日本岛津:1900/2401/2550/3700分光光度计

日 立   :2900/4000/4001/4150 光谱仪

二次元/三次元(2010/3020/4030.......)

 

一批二手仿形机120/175MM

一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米

一批10-13槽半自动超声波清洗机

 

 

进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)照片













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