产品特性:精度高 | 类型:齿轮加工机床 | 型号:16B |
新旧程度:8成新 | 传动方式:液压传动 | 主电机功率:3kw |
最大磨削尺寸:400mm | 自动化程度:自动 | 品牌:HAMAI滨井 |
重量:700kg | 外形尺寸:3900*2900*3600mm | 加工精度:高精度 |
工作台尺寸:1140mm | 设备所在地:东莞 | 设备生产产地:日本 |
电机:2个 | 游星轮:6个 | 修正轮:3个 |
加工尺寸:400 | 适合产品:所有平面抛光研磨产品 |
进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)介绍
本机适用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。
主要特点:
1.进口变频器配合变频电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2.采用二电机同步拖动,可选择游星轮的变速范围更广,能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
3.单独电机抬升内齿圈,并在总行范围内随意停留,满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度,调整方法简便。
4.采用国内***的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理,大大提高了其耐蚀性,继而也提高并能长期***底座安装精度。
5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的***元件,主气缸为精密低摩擦力气缸,压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。
6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制,其静态调整精度<2Kg,动态压力波动<30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性,进而确保提高元件加工精度及合格率。
7.人机界面(HMI)显示与PLC主控制器结合,一方面显示运行参数,另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数,主操作由普通键钮完成。
8.采用自动润滑装置,用户可根据自己的使用情况,设定自动润滑时间,使机器的各相对运动表面,齿轮啮合部位得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。
9.研磨机配置了高精度的测厚装置,工件加工的动态情况通过HMI随时可见。
10.可根据用户的加工工艺要求,选装抛光液温度调节装置(单制或双制均可)。
进口创技SPEEDFAM全自动双面抛光机-双面平磨机透合(硅片-晶体-石英玻璃-蓝宝石)主要技术参数
研磨盘尺寸:920*280*40mm
磨盘转速: 0~60rpm
游行轮参数:公制M=3,Z=153,P=12°
游行轮数量:5个
***小研磨厚度:5/Φ190mm,0.4/Φ150mm
可控研磨厚度:20mm(可根据要求特殊定制)
研磨直径:Φ290mm
主电机:7.5KW4级三相AC380V
太阳轮电机:1.5KW4级三相AC380V
内齿圈电机:1.5KW4级三相AC380V
气源:0.5~0.7Mpa
外型尺寸:2100×1650×2500mm
机器重量:~3000kg
砂泵电机(带搅拌):4KWAC380V
主机精度
下研磨盘端面跳动:0.08mm
淹没面平面度:0.02mm
太阳轮径向跳动:0.20mm
内齿圈径向跳动:0.25mm
加工精度(四个修正轮修研后)
一致性:0.008mm
平面度:0.005m
平行度:0.006mm
加工能力
单片承片量:Φ1704片,Φ2002片
整盘承片量:Φ7020片,Φ2001
二手机械库存明细
双面抛光机系列:
日本:hamai16B speedfam16B 21B 28B 30B 40B 双面抛光研磨机
德国:Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机
国产:金研/宇晶9.6B 9S 9B 13B 15B 16B 20B
镀膜机械系列:
日本:光弛OTFC-1300/1550/2350
德国:莱宝:1300
台湾:龙翩LP-1400/1650/1800
韩国:韩一 1200 联合2050
南光:1100/1300
检测仪器:
日本岛津:1900/2401/2550/3700分光光度计
日 立 :2900/4000/4001/4150 光谱仪
二次元/三次元(2010/3020/4030.......)
一批二手仿形机120/175MM
一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米
一批10-13槽半自动超声波清洗机
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